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真空配件知识——真空系统的抽气方程

2019-11-19 10:21:00

真空系统的任务是清除真空容器内的各种气体。我们可以把抽运容器中产生的各种气体的流量称为真空系统的气体负荷。那么真空系统的气体负荷是什么呢?或者真空室里的气源是什么?下面就让昕徕真空公司为您简述一下:

1、抽运容器内的原始空间大气,如果容器容积为vm3,抽运气体的初始压力为PopA,则容器内的原始空气体积为vp0pa·m3;

2、抽真空容器被抽空气体,暴露在真空下的各种材料和元件的表面将会在大气压下原本吸收和吸收的气体。这部分气源称为气体排放,单位时间的气体流量可以用QFPA·m3 / S表示

3、空气通过容器壁结构材料进入真空室的气体流量,表示为qspa·m3 / s,所渗透的气体流量是大气通过容器壁结构材料扩散到容器内的气体流量。这种气体渗透具有选择性。例如,氢只有在分离成原子时才能穿透钯、铁、镍和铝。随着钢中碳含量的增加,氢对钢的渗透作用增大。氦分子可以通过玻璃。氢、氮、氧、氩、氖、氦可以通过透明石英。所有气体都能通过有机聚合物,如橡胶、塑料等。但是所有的气体都不能通过金属。

4、液体或固体蒸发的气体流量qzpa·m3 / s,过程中空气或液体中的水分在真空下蒸发,这是低真空范围内的常见现象。在高真空条件下,特别是在高温装置中,固体和液体都有一定的饱和蒸汽压。当温度固定时,材料的饱和蒸汽压固定,因此蒸发气体流量是恒定的。

5、漏风流量qlpa·m3 / s通过各种真空密封与各种漏风通道的连接进入真空室。对于某一真空装置,泄漏流量QL为常数。泄漏流量可以通过压力上升速率来计算,即单位时间内容装置(28)中的压力增长率PX。

本公司的真空波纹管适用于各种低真空、高真空环境的管路连接,利用波纹管能伸缩的特性来吸收特定的管件变位,用于连接真空泵的波纹管也可减缓真空泵运作时对设备所产生的震动影响。

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